Wataru OHNISHI
大西 亘
工学系研究科 准教授

ダイナミクスを自在に操る:半導体製造装置などの高速高精度制御
高速、かつ高精度にダイナミクスを制御する技術は、半導体製造装置や工作機械、鉄道や自動車、電力機器などの根幹を支えています。私は、モータ構造最適化といった物理層から、制御理論・学習制御といった情報層までを一気通貫で研究開発し、電流制御・位置制御・温度制御・流体制御・プラズマ制御に水平展開しています。未来情報の活用と、データ駆動制御とモデル駆動制御の融合により、制御精度と生産性を両立させます。共同研究先と共に、半導体製造工程の前工程・後工程・実装工程の装置などに応用し、さらなる微細化に貢献します。
- 研究テーマ
- メカトロニクス制御を数理最適化で究める
- 学歴(大学)
- 東京大学工学部電気電子工学科
- 学歴(博士課程)
- 東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻
- 学位
- 博士(工学)
- 経歴
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2018.4~ 東京大学大学院工学系研究科 助教 2020~ Eindhoven University of Technology, オランダ, University Researcher
(若手研究者の国際展開事業)2022.4~ 東京大学大学院工学系研究科 講師 2023.4~ 現職 - 受賞歴等
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2018 一般財団法人エヌエフ基金 研究開発奨励賞選考委員会特別賞 2020 電気学会産業応用部門 論文賞
- お問合せ
- 〒113-8654 東京都文京区本郷7丁目3番1号
東京大学 人事部(卓越研究員担当) - Email : UTokyo-Takuetsu.adm@gs.mail.u-tokyo.ac.jp