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三田 吉郎

名前 三田 吉郎 / MITA Yoshio
学位 博士(工学)(東京大学),修士(工学)(東京大学)
職名 教授
所属 大学院工学系研究科
電気系工学専攻高度情報システム学講座
所属サイトURL http://www.t.u-tokyo.ac.jp/foe/index.html別ウィンドウで開く
専門分野 電子機械デバイス工学
研究テーマ MEMS技術を活用した高機能電子デバイス・システム
研究テーマに関するキーワード CMOSポストプロセス素子,MEMS光検出素子,MEMS形状評価システム,新規マイクロ加工
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