霜垣 幸浩
| 名前 | 霜垣 幸浩 / SHIMOGAKI Yukihiro |
|---|---|
| 学位 | 工学博士（東京大学） |
| 職名 | 教授 |
| 所属 | 大学院工学系研究科
マテリアル工学専攻マテリアルプロセス講座 |
| 所属サイトURL | http://www.t.u-tokyo.ac.jp/foe/index.html |
| 専門分野 | デバイスプロセス（薄膜作製，ドライエッチング） |
| 研究テーマ | CVD法による薄膜合成，超臨界流体を利用した薄膜合成 |
| 研究テーマに関するキーワード | ULSI多層配線，化合物半導体，熱CVD，プラズマCVD |
| 実績等URL | http://www.dpe.mm.t.u-tokyo.ac.jp/ |
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