超高分解能電磁場計測電子顕微鏡法の開発
- 3.7 先進デバイス・マテリアル評価計測技術（SEM、AFM、OCD、TEMなど）
柴田 直哉
工学系研究科
教授
半導体デバイスの電磁場分布を超高分解能で直接可視化できる電子顕微鏡法を開発し、デバイス中の電磁場分布解析に応用する。
柴田直哉
柴田直哉
プロジェクトに関するURL
共同実施者
日本電子株式会社
モナッシュ大学（オーストラリア）
モナッシュ大学（オーストラリア）
主な関連論文
- N. Shibata et al., “Direct Visualization of Local Electromagnetic Field Structures by Scanning Transmission Electron Microscopy,”Acc. Chem. Res., 50, 1502-1512 (2017).
- N. Shibata et al., “Imaging of built-in electric field at a p-n junction by scanning transmission electron microscopy,”Sci. Rep., 5, 10040 (2015).
- N. Shibata et al., "Differential phase-contrast microscopy at atomic resolution,” Nature Phys., 8,611-615 (2012).
主な特許
「透過型電子顕微鏡」特許第 5529573号 (2014.4.25)
関連するSDGs項目
問い合わせ先
- 担当： 工学系研究科 柴田 直哉
- 電話： 03-5841-0415
- メールアドレス： shibata[at]sigma.t.u-tokyo.ac.jp
※[at]を@に置き換えてください
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