半導体微細構造からの放熱促進技術開発
- 2.5 エネルギー設計（電力/エネルギー効率、給電、抜熱 など）
野村 政宏
生産技術研究所
教授
半導体において局所冷却を可能にするマイクロペルチェ素子開発を行います。シミュレーションによるデバイス設計から構造作製、性能評価を行います。
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